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Nems ネムスと読む nano electro mechanical systems は主に半導体集積回路作製技術を用いて作製されたnmオーダーの機械構造を持つデバイスのことである電子集積回路との集積化も可能である加工技術の微細化により memsよりも小さな機械構造を作製できるようになり nemsの実現が可能と. 1 北海道大学大学院医学研究院腫瘍病理学教室 2 北海道大学化学反応創成研究拠点.